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방사광을 이용한 전반사 형광 X-선 분석시 실리콘 웨이퍼의 결정방향에 대한 배경강도 의존성 연구
- Title
- 방사광을 이용한 전반사 형광 X-선 분석시 실리콘 웨이퍼의 결정방향에 대한 배경강도 의존성 연구
- Date Issued
- 2002-01
- Publisher
- 대한금속재료학회 ( 구 대한금속학회 )
- ISSN
- 0253-3847
- Article Type
- Article
- Citation
- 대한금속·재료학회지, vol. 40, no. 5, page. 545 - 549, 2002-01
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