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OASIS Repository@POSTECHLIBRARY
Browsing "Department of Electrical Engineering (전자전기공학과)" by JournalJ. of KITE
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Article
Design parameter analysis for a planar type reactive ion etcher
J. of KITE, vol. 26, page. 1658 - 1666, 1989-01
강봉구
;
박성호
;
전영진
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