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플라즈마 화학증착에 의한 저온 할로겐화 절연막 증착 및 수소 플라즈마에 의한 계면처리에 대한 연구
- Title
- 플라즈마 화학증착에 의한 저온 할로겐화 절연막 증착 및 수소 플라즈마에 의한 계면처리에 대한 연구
- Authors
- 박영배
- Date Issued
- 1998
- Publisher
- 포항공과대학교
- URI
- http://postech.dcollection.net/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000001899618
https://oasis.postech.ac.kr/handle/2014.oak/4845
- Article Type
- Thesis
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