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폴리실리콘 박막 트랜지스터용 저온 게이트 산화막과 SiO2Si 계면 특성 개선에 대한 연구
- Title
- 폴리실리콘 박막 트랜지스터용 저온 게이트 산화막과 SiO2Si 계면 특성 개선에 대한 연구
- Authors
- 이청
- Date Issued
- 2002
- Publisher
- 포항공과대학교
- URI
- http://postech.dcollection.net/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000001906212
https://oasis.postech.ac.kr/handle/2014.oak/6432
- Article Type
- Thesis
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