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MOS 트랜지스터와 FIB 탐침을 이용한 표면 전기 물성 측정용 프로브 개발
- Title
- MOS 트랜지스터와 FIB 탐침을 이용한 표면 전기 물성 측정용 프로브 개발
- Authors
- 문원규
- Article Type
- Conference
- Citation
- 제8회 한국 MEMS 학술대회, page. 382 - 385
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Related Researcher
- 문원규MOON, WON KYU
- Dept of Mechanical Enginrg